測試出能譜后，對應的軟件上有顯示元素種類，該元素對應哪幾個峰形。有時候會出現很多不知名的其他元素，這個時候要根據自己所測試物質所含元素的組成進行辨別。測試時，分為面掃和點掃，面掃對應SEM上顯示的一個面中各元素含量，點掃則對應該點（實際上由于探針會飄動，所以也會收集到附近/周圍點的元素情況）。收集的時間長短，決定了峰的強度大小，一般為了數據可靠，收集的時間要長一些。最后，EDX會給出以At%和wt%為單位的各元素數據，At%表示原子百分數，wt%表示質量百分數。根據wt%除以各種元素的相對原子質量，可以計算出物質的結構式。但是，EDX只是一個半定量的測試方法，結果還不夠精確。想要獲得更加精確的數值，可以用ICP（含金屬的物質）。