全球對光伏(PV)太陽能電池的需求推動了歐洲和亞洲出現大規模的制造熱。為支持該行業的發展,馬爾文儀器的Sysmex FPIA-3000分析儀有助于進行成本控制,減少廢料。它能對用于切割硅片的高價值漿料所需的顆粒度和形狀數據進行分析,可達到有效回收的目的。碳化硅漿料在晶圓制造行業占據很大比例的成本,估計每年運行10條線鋸的運行成本高達1600萬美元,使漿料回收成為一個價值極高的過程。
依賴于碳化硅研磨漿料的多線鋸切割工藝,可用于生產光伏太陽能電池所需的切割硅晶圓。這一技術能夠一次切割成千上萬片晶圓。然而,隨著時間的推移,線鋸上的漿料逐漸被污染,導致廢品硅增多,磨料磨損顆粒積聚,降低了線鋸過程的有效性。
通過監測顆粒粒度和形狀,Sysmex FPIA-3000能夠對漿料回收進行最優控制。此外,除表征漿料本身以外,還能夠調節碳化硅的顆粒粒度和形狀分布,使晶圓之間切割得更薄,從而減少原料的浪費。
Sysmex FPIA-3000能夠在短短幾分鐘內測量數以萬計的顆粒,使用成像流細胞儀來測量通過鞘流池的懸浮微粒,提供可靠的數據,可用于優化制造工藝。
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