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掃描電鏡“弱視”，工業制造難以明察秋毫

對材料微觀結構的觀測離不開“微觀相機”——掃描電子顯微鏡，一種高端的電子光學儀器，它被廣泛地應用于材料、生物、醫學、冶金、化學和半導體等各個研究領域和工業部門。 “比如，在材料科學領域，它是非常基礎的科研儀器，毫不夸張地說，材料領域70%—80%的文章都要用到掃描電鏡提供的信息。”中國科學院上海硅酸鹽所研究員、中國電子顯微鏡學會掃描電鏡專業委員會副主任曾毅告訴科技日報記者。但是，目前我國科研與工業部門所用的掃描電鏡嚴重依賴進口，每年我國花費超過1億美元采購的幾百臺掃描電鏡中，主要產自美、日、德和捷克等國。國產掃描電鏡只占約5%—10%。高質量電子光學系統生產困難 曾毅說，掃描電鏡的圖像分辨率與電子束的直徑密切相關，電子束匯聚越細，圖像分辨率就越高。 掃描電子顯微鏡主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態，即用匯聚得很細小的電子束在樣品表面掃描，通過電子束與樣品的相互作用產生各種信號（如二次電子信號）來獲得......閱讀全文