掃描電子顯微鏡的原理結構
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下,經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統,電子束會聚成孔徑角較小,束斑為5-10m m的電子束,并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈,在它的作用下,電子束在試樣表面掃描。高能電子束與樣品物質相互作用產生二次電子,背反射電子,X射線等信號。這些信號分別被不同的接收器接收,經放大后用來調制熒光屏的亮度。由于經過掃描線圈上的電流與顯象管相應偏轉線圈上的電流同步,因此,試樣表面任意點發射的信號與顯象管熒光屏上相應的亮點一一對應。也就是說,電子束打到試樣上一點時,在熒光屏上就有一亮點與之對應,其亮度與激發后的電子能量成正比。換言之,掃描電鏡是采用逐點成像的圖像分解法進行的。光點成像的順序是從左上方開始到右下方,直到最後一行右下方的像元掃描完畢就算完成一幀圖像。這種掃描方式叫做光柵掃描。掃描電子顯微鏡由電子光學系統,信號......閱讀全文
掃描電子顯微鏡的原理結構
?? 掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。? ? 掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下,經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統,電子束會聚成
掃描電子顯微鏡的原理結構
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下,經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統,電子束會聚成孔徑角較小,束斑為5-10m m的電子束,并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈,在它的作用下,電子束在試樣表面掃描。高能電子
掃描電子顯微鏡的原理結構
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下,經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統,電子束會聚成孔徑角較小,束斑為5-10m m的電子束,并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈,在它的作用下,電子束在試樣表面掃描。高能電子
掃描電子顯微鏡的原理結構
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下,經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統,電子束會聚成孔徑角較小,束斑為5-10m m的電子束,并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈,在它的作用下,電子束在試樣表面掃描。高能電子
掃描電子顯微鏡的原理及結構
掃描電子顯微鏡,全稱為掃描電子顯微鏡,英文為scanning electron microscope(SEM ),是一種用于觀察物體表面結構的電子光學儀器。 1、掃描電子顯微鏡的原理 掃描電子顯微鏡的制造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的人射電子轟擊物質表面時,被激發的區域將產生二次電子、
關于臺式掃描電子顯微鏡的原理結構
臺式掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。 在2-30KV的加速電壓下,經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統,電子束會聚成孔徑角較小,束斑為5-10 nm的電子束,并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈,在它的作用下,電
掃描電子顯微鏡SEM的結構及原理
一、電子光學系統包括電子槍,聚光鏡(*、第二聚光鏡和物鏡),物鏡光闌和掃描系統。其作用是產生直徑為幾十埃的掃描電子束,即電子探針,使其在樣品表面作光柵狀掃描電子槍與透射電鏡的電子槍基本相同,只是加速電壓較低,一般在40kV以下。磁透鏡有*、二聚光鏡和物鏡,其作用與透射電鏡的聚光鏡相同:縮小電子束的直
掃描電子顯微鏡SEM的結構及原理
掃描電鏡主要由電子光學系統,顯示系統,真空及電源系統組成。一、電子光學系統包括電子槍,聚光鏡(*、第二聚光鏡和物鏡),物鏡光闌和掃描系統。其作用是產生直徑為幾十埃的掃描電子束,即電子探針,使其在樣品表面作光柵狀掃描電子槍與透射電鏡的電子槍基本相同,只是加速電壓較低,一般在40kV以下。磁透鏡有*、二
掃描電子顯微鏡的工作原理及主要結構
一、掃描電子顯微鏡SEM工作原理掃描電子顯微鏡SEM是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆粒,成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是最主要的成像信號。由電子槍發射的能量為5-35KeV的電子,以其交叉斑作為電子源,經二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定
掃描電子顯微鏡的掃描原理介紹
在掃描電鏡中, 入射電子束在樣品上的掃描和顯像管中電子束在熒光屏上的掃描是用一個共同的掃描發生器控制的。這樣就保證了入射電子束的掃描和顯像管中電子束的掃描完全同步, 保證了樣品上的“物點”與熒光屏上的“象點”在時間和空間上一一對應, 稱其為“同步掃描”。一般掃描圖象是由近100萬個與物點一一對應