電子探針(Electron Probe Microanalysis-EPMA)的主要功能是進行微區成分分析。它是在電子光學和X射線光譜學原理的基礎上發展起來的一種高效率分析儀器。 其原理是:用細聚焦電子束入射樣品表面,激發出樣品元素的特征X射線,分析特征X射線的波長(或能量)可知元素種類;分析特征X射線的強度可知元素的含量。 其鏡筒部分構造和SEM相同,檢測部分使用X射線譜儀,用來檢測X射線的特征波長(波譜儀)和特征能量(能譜儀),以此對微區進行化學成分分析。 X射線譜儀是電子探針的信號檢測系統,分為: 能量分散譜儀(EDS),簡稱能譜儀,用來測定X射線特征能量。 波長分散譜儀(WDS),簡稱波譜儀,用來測定特征X射線波長。 WDS組成:波譜儀主要由分光晶體和X射線檢測系統組成。 原理:根據布拉格定律,從試樣中發出的特征X射線,經過一定晶面間距的晶體分光,波長不同的特征X射線將有不同的衍射角。通過連續地改變q,......閱讀全文
電子探針(Electron Probe Microanalysis-EPMA)的主要功能是進行微區成分分析。它是在電子光學和X射線光譜學原理的基礎上發展起來的一種高效率分析儀器。 其原理是:用細聚焦電子束入射樣品表面,激發出樣品元素的特征X射線,分析特征X射線的波長(或能量)可知元素種類;分析
????????電子探針X射線微區分析儀簡稱電子探針。利用髙能電子束與物質相互作用時產生的特征X射線來分析試樣微區化學組成的一種顯微儀器。其工作原理為:聚焦得很細的電子束照射在試樣某微區,使該微區原子受激產生特征X射線,通過已知晶面間距的分光晶體對不同波長的X射線分光,來測量它的波長與強度,從而對微
使入射電子束在樣品表面沿選定的直線掃描,譜儀固定接收某一元素的特征X射線信號,其強度在這一直線上的變化曲線可以反映被測元素在此直線上的濃度分布,線分析法較適合于分析各類界面附近的成分分布和元素擴散。 實驗時,首先在樣品上選定的區域拍照一張背散射電子像(或二次電子像),再把線分析的位置和線分析
(1) 樣品 樣品表面要求平整,必須進行拋光;樣品應具有良好的導電性,對于不導電的樣品,表面需噴鍍一層不含分析元素的薄膜。實驗時要準確調整樣品的高度,使樣品分析表面位于分光譜儀聚焦圓的圓周上。 (2) 加速電壓 電子探針電子槍的加速電壓一般為3~50kV,分析過程中加速電壓的選擇應考慮待分
使入射電子束在樣品表面選定的微區內作光柵掃描,譜儀固定接收某一元素的特征X射線信號,并以此調制熒光屏的亮度,可獲得樣品微區內被測元素的分布狀態。元素的面分布圖像可以清晰地顯示與基體成分存在差別的第二相和夾雜物,能夠定性地顯示微區內某元素的偏析情況。在顯示元素特征X射線強度的面分布圖像中,較亮的區
具有以下優點(與波譜儀相比) 能譜儀探測X射線的效率高。 在同一時間對分析點內所有元素X射線光子的能量進行測定和計數,在幾分鐘內可得到定性分析結果,而波譜儀只能逐個測量每種元素特征波長。 結構簡單,穩定性和重現性都很好(因為無機械傳動),不必聚焦,對樣品表面無特殊要求,適于粗糙表面分析。
電子探針X射線微區分析(EPMA)Electron Probe X-ray Microanalysis是用聚焦極細的電子束轟擊固體的表面,并根據微區內所發射出X射線的波長( 或能量)和強度進行定性和定量分析的方法。主要功能是進行微區成分分析。它是在電子光學和X射線光譜學原理的基礎上發展起來的一種
微區X射線衍射儀是一種用于物理學、化學、材料科學、考古學領域的分析儀器,于2015年1月12日啟用。 技術指標 采用新一代的陶瓷X光管技術,焦斑位置穩定,衰減小,壽命長 ; 全自動可變狹縫,可以自由選擇固定狹縫大小或固定測量面積模式;高精度立式測角儀,樣品水平放置,最小步長及角度重
(1)全譜定性分析 驅動分光譜儀的晶體連續改變衍射角,記錄X射線信號強度隨波長的變化曲線。檢測譜線強度峰值位置的波長,即可獲得樣品微區內所含元素的定性結果。電子探針分析的元素范圍可從鈹(序數4)到鈾(序數92),檢測的最低濃度(靈敏度)大致為0.01%,空間分辨率約在微米數量級。全譜定性分析往
本文介紹了使用硅(鋰)檢測器進行定量電子探針分析的一種方法,這種方法使用了背景模擬技術及其它技術中的電荷收集不完全和電子噪聲的校正。輕元素分析的改進對硅酸鹽樣品是特別有利的,使之盡可能采用純金屬作分析標樣。這種方法已被用于各種地球化學樣品的分析中(包括用JG—1和JB—1巖石做成的玻璃)。與濕式化