XPS主要功能

全掃描：取全譜與標準譜線對照，找出各條譜線的歸屬。以便識別樣品中所有元素，并為窄區譜（高分辨譜）的能量設置范圍尋找依據。結合能掃描范圍1100～0 eV，分辨率2eV。

分辨率0.1eV。掃描區間包括待測元素的能量范圍，但又沒有其他元素的譜線干擾。窄掃描可以得到譜線的精細結構。另外，定量分析最好也用窄區譜，這樣誤差更小。