氦質譜檢漏儀現場校準方法研究
蘭州物理研究所 作者：趙瀾 目前，用戶采用單只標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行校準，由于受檢漏儀線性范圍的影響限制，不能對其全量程范圍進行校準。為了滿足對氦質譜檢漏儀全量程范圍內的現場校準，將一系列不同量級漏率的薄膜滲氦型標準漏孔分別接入氦質譜檢漏儀，得到一組標準漏孔檢漏儀示值，通過對標準漏孔漏率值與檢漏儀示值的關系曲線進行數學擬合，得到氦質譜檢漏儀全量程測量范圍示值與漏率值之間的擬合公式。其校準過程簡單，能夠提高氦質譜檢漏質量。 隨著科......閱讀全文
氦質譜檢漏儀現場校準方法研究
目前，用戶采用單只標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行校準，由于受檢漏儀線性范圍的影響限制，不能對其全量程范圍進行校準。為了滿足對氦質譜檢漏儀全量程范圍內的現場校準，將一系列不同量級漏率的薄膜滲氦型標準漏孔分別接入氦質譜檢漏儀，得到一組標準漏孔檢漏儀示值，通過對標準漏孔漏率值與檢漏儀示值的關系曲線進行數學
氦質譜檢漏儀現場校準方法研究
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?蘭州物理研究所 作者：趙瀾? ? 目前，用戶采用單只標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行校準，由于受檢漏儀線性范圍的影響限制，不能對其全量程范圍進行校準。為了滿足對氦質譜檢漏儀全量程范圍內的現場校準，將一
氦質譜檢漏儀氦質譜檢漏方法描述
氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成
氦質譜檢漏儀的氦質譜檢漏方法
氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質
氦質譜檢漏儀要注意經常校準
年泄漏率大的標準漏孔，要注意經常校準。如果發現異常，要用外置漏孔校準。注意使用的環境。標準漏孔的生產、檢測，都是在20-25℃的室溫下進行。尤其有些標準漏孔，對溫度特別敏感。溫度每變化1℃，標準漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如，夏天，室溫達到30℃，這種標準漏孔的漏率誤差增加30%。 高壓強
氦質譜檢漏儀試驗方法研究
在生產生活中，我們往往通過密封元器件的方式，來避免事先充入的保護氣體外漏，同時防止外部的有害氣體漏入。但是，想要無限期的防止外界有害氣體漏入是難以實現的，因為平常我們所使用的氣密封裝材料包括玻璃、陶瓷或者金屬，只能通過沖入氮氣的方式來避免出現污染現象。由此可見，密封對電子元器件的重要性不言而喻，
氦質譜檢漏儀檢漏方法
氦質譜檢漏儀氦質檢漏方法 氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽
氦質譜檢漏儀基本檢漏方法
氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作探索氣體制成的氣密性檢測儀器．其質譜原理如圖所示。?氦質譜檢漏儀的質譜學原理?燈絲發射出來的電子在電離室內來回的振蕩，與電離室內氣體和經被檢件漏孔進入電離室的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道
氦質譜檢漏儀原理
一、為什么要檢漏泄漏和密封相對應很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣
氦質譜檢漏儀簡介
? ? 氦氣檢漏儀是氦質譜檢漏儀((Helium Mass Spectrometer Leak Detector)的俗稱，運用質譜原理制成的儀器稱為質譜計或質譜儀。質譜儀通過其核心部件質譜室，使不同質量的氣體變成離子并在某種場中運動后，不同質荷比的離子在場中彼此分開，而相同質荷比的離子在場中匯聚在一
氦質譜檢漏儀簡介
氦質譜檢漏儀（ Helium Mass Spectrometer Leak Detector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將
氦質譜檢漏儀簡介
氦質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度最高，用得最普遍的檢漏儀器。 氦質譜檢漏儀方法在真空檢漏技術領域里已經得到廣泛的應用，這種方法的優點是: 檢漏靈敏度高，可以檢漏到10-11Pam3/s 數量級，儀器響應快，氦分子在儀器
氦質譜檢漏儀單位
氦質譜檢漏儀單位是kg。氦質譜檢漏儀、為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。
氦質譜檢漏儀標定與校準——兩種檢漏儀對比
? ? 外置標準漏孔是檢驗氦質譜檢漏儀準確性的標準。氦質譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進入質譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并
氦質譜檢漏儀性能試驗方法
靈敏度、反應時間、清除時間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質譜檢漏儀的主要性能指標。 ①靈敏度及其校準 氦質譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的最小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于最佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進行動態檢漏時所能檢測出的最小漏孔漏率。所謂“最
氦質譜檢漏儀常用檢漏方法詳解
? ? 氦質譜檢漏方法比較多,根據被檢件的測量目的可以分為兩種類型,一種是漏點型,另一種是漏率型;在實際檢驗過程中要根據檢驗的目的選用最合理的方法,要以被檢器件的具體情況而定,靈活運用各種檢漏方法。一、測定漏點型? 確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛
氦質譜檢漏儀的使用方法
1、氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。 2、是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成
氦質譜檢漏儀性能試驗方法
? ? 氦質譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度最高，用得最普遍的檢漏儀器。? ? 氦質譜檢漏儀方法在真空檢漏技術領域里已經得到廣泛的應用,這種方法的優點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10-11Pam3/s 數量級,儀器響應快,氦分子在
氦質譜檢漏儀常用檢漏方法詳解
? ? 氦質譜檢漏方法比較多,根據被檢件的測量目的可以分為兩種類型,一種是漏點型,另一種是漏率型;在實際檢驗過程中要根據檢驗的目的選用最合理的方法,要以被檢器件的具體情況而定,靈活運用各種檢漏方法。一、測定漏點型? 確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛
氦質譜檢漏儀常用檢漏方法詳解
? ? ? ?氦質譜檢漏方法比較多,根據被檢件的測量目的可以分為兩種類型,一種是漏點型,另一種是漏率型;在實際檢驗過程中要根據檢驗的目的選用最合理的方法,要以被檢器件的具體情況而定,靈活運用各種檢漏方法。一、測定漏點型? ? ? 確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置,在大部件或大型部件中
氦質譜檢漏儀六種常見氦檢方法
? ? 檢漏與現代工業生產、維修、科研等領域密不可分，傳統的檢漏有泡泡檢漏（Bubble Test）、壓差檢漏等，但這些方法有許多局限性和不足，如精度差、效率低等。氦檢（Helium Leak Test）作為國際公認精度最高的測漏方法，已廣泛應用于真空領域。上海伯東依據大量客戶實際應用總結出常見六種
氦質譜檢漏儀常用檢漏儀檢漏方法詳解
氦質譜檢漏方法比較多，根據被檢件的測量目的可以分為兩種類型，一種是漏點型，另一種是漏率型；在實際檢驗過程中要根據檢驗的目的選用最合理的方法，要以被檢器件的具體情況而定，靈活運用各種檢漏方法。 一、測定漏點型 確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置，在大部件或大型部件中較為常見，如衛
深度揭秘氦質譜檢漏技術——氦質譜檢漏儀的結構
氦質譜檢漏儀的型號較多，但基本結構大同小異。它主要由質譜室、真空系統及電氣部分組成。一、質譜室不同類型的氦質譜檢漏儀的質譜室結構大同小異，都是由離子源、分析器和收集器三部分組成，它們放在一個抽成高真空的質譜室外殼中，如圖2所示。?圖2 質譜室1、離子源離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能
氦質譜檢漏儀行業應用
氦質譜檢漏儀的應用已從科學院、大專院校、實驗室及少數科研機構走向工礦企業，甚至鄉鎮企業、個體企業，可以說應用領域極其寬廣。 （1）航空航天高科技工業 1）例如火箭發動機及姿態發動機，過去是打壓刷肥皂水檢漏，現在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏，采用正壓吸槍與氦罩法結合，使檢漏靈敏度大大提高，從
氦質譜檢漏儀是什么？
氦質譜檢漏儀為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏
氦質譜檢漏儀工作原理
由于氦氣分子顆粒小,滲透性好,而且氦質譜檢漏儀對氦氣敏感,所以微漏也能檢出來
氦質譜檢漏儀的介紹
專業用于電廠檢漏的氦質譜檢漏儀。關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。
氦質譜檢漏儀熱管檢漏
熱管需要檢漏原因： 熱管內部填充特殊液體用來增強熱傳導性能，如果熱管本身存在漏點，首先會影響熱管的導熱性能；其次由于熱管都是安裝在設備內部，如果發生泄漏，里面封裝的液體就會流出，嚴重污染和影響設備的正常運轉，所以熱管生產企業，都會采用氦質譜檢漏儀對熱管進行檢漏。 熱管檢漏方法： 該企業熱管
氦質譜檢漏儀開機步驟
1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。 2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。 3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規已激發
氦質譜檢漏儀的介紹
專業用于電廠檢漏的氦質譜檢漏儀。關鍵部件均為進口，性能穩定可靠。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。