掃描電子顯微鏡的原理及結構
掃描電子顯微鏡，全稱為掃描電子顯微鏡，英文為scanning electron microscope（SEM ），是一種用于觀察物體表面結構的電子光學儀器。 1、掃描電子顯微鏡的原理 掃描電子顯微鏡的制造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的人射電子轟擊物質表面時，被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x 射線和連續譜X 射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時，也可產生電子-空穴對、晶格振動 (聲子) 、電子振蕩 (等離子體) 。如對二次電子、背散射電子的采集，可得到有關物質微觀形貌的信息；對X 射線的采集，可得到物質化學成分的信息。掃描電子顯微鏡的工作原理是用一束極細的電子束掃描樣品，在樣品表面激發出次級電子，次級電子的多少與電子束入射角有關，也就是說與樣品的表面結構有關，次級電子由探測體收集，并在那里被閃爍器轉變為光信號，再經光電倍增管和放大器轉變為電信號來控制熒光屏上電子束的......閱讀全文
掃描電子顯微鏡的原理及結構
掃描電子顯微鏡，全稱為掃描電子顯微鏡，英文為scanning electron microscope（SEM ），是一種用于觀察物體表面結構的電子光學儀器。 1、掃描電子顯微鏡的原理 掃描電子顯微鏡的制造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的人射電子轟擊物質表面時，被激發的區域將產生二次電子、
掃描電子顯微鏡SEM的結構及原理
掃描電鏡主要由電子光學系統，顯示系統，真空及電源系統組成。一、電子光學系統包括電子槍，聚光鏡（*、第二聚光鏡和物鏡），物鏡光闌和掃描系統。其作用是產生直徑為幾十埃的掃描電子束，即電子探針，使其在樣品表面作光柵狀掃描電子槍與透射電鏡的電子槍基本相同，只是加速電壓較低，一般在40kV以下。磁透鏡有*、二
掃描電子顯微鏡SEM的結構及原理
一、電子光學系統包括電子槍，聚光鏡（*、第二聚光鏡和物鏡），物鏡光闌和掃描系統。其作用是產生直徑為幾十埃的掃描電子束，即電子探針，使其在樣品表面作光柵狀掃描電子槍與透射電鏡的電子槍基本相同，只是加速電壓較低，一般在40kV以下。磁透鏡有*、二聚光鏡和物鏡，其作用與透射電鏡的聚光鏡相同：縮小電子束的直
掃描電子顯微鏡的工作原理及主要結構
一、掃描電子顯微鏡SEM工作原理掃描電子顯微鏡SEM是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆粒，成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是最主要的成像信號。由電子槍發射的能量為5-35KeV的電子，以其交叉斑作為電子源，經二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定
掃描電子顯微鏡的原理結構
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10m m的電子束，并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電子束在試樣表面掃描。高能電子
掃描電子顯微鏡的原理結構
?? 掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。? ? 掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成
掃描電子顯微鏡的原理結構
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10m m的電子束，并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電子束在試樣表面掃描。高能電子
掃描電子顯微鏡的原理結構
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10m m的電子束，并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電子束在試樣表面掃描。高能電子
掃描電子顯微鏡工作原理及主要結構（二）
一.圖像顯示和記錄系統高能電子束與樣品相互作用產生各種信息，如圖24-3所示，在掃描電鏡中采用不同的探測器接收這些信號。圖24-3??? 高能電子束與樣品作用產生信號電子示意圖二次電子的探測系統如圖24-4所示，它包括靜電聚焦電極(收集極或柵極)、閃爍體探頭、光導管、光電倍增管和前置放大器。二次電子
掃描電子顯微鏡工作原理及主要結構（一）
掃描電子顯微鏡(簡稱掃描電鏡)是一種大型精密儀器，它是機械學、光學、電子學、熱學、材料學、真空技術等多門學科的綜合應用。1.工作原理掃描電鏡由電子槍發射出電子束(直徑約50um)，在加速電壓的作用下經過磁透鏡系統匯聚，形成直徑為5 nm的電子束，聚焦在樣品表面上，在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉線圈的作用