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    氦質譜檢漏儀的工作原理

    檢漏儀主要的目的是檢查一個真空腔體各個密封處是否有泄漏、漏氣的地方。在這個密封腔體內充滿氦氣,用質譜檢漏儀在不腔體外,不同部位檢測,如果密封存在問題,則有氦氣泄漏,被質譜儀檢測到。質譜檢漏儀是一種簡易的質譜儀,對分辨率和檢測的質量范圍要求很低,但對靈敏度要求較高。樓上的回答則是質譜儀中的一種磁質譜儀的原理和分析過程。其實各個種類的質譜儀都可用來作為檢漏質譜儀,只是出于成本和靈敏度的考慮,更多的用的是四極桿質譜檢漏儀。......閱讀全文

    氦質譜檢漏儀工作原理

    ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?第二炮兵工程學院 作者:孫開磊? ? 氦質譜檢漏方法在真空檢漏技術領域里已經得到廣泛的應用,這種方法的優點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10-11Pam3/s 數量級,儀器響應快,氦分子在儀器高真

    氦質譜檢漏儀工作原理

    由于氦氣分子顆粒小,滲透性好,而且氦質譜檢漏儀對氦氣敏感,所以微漏也能檢出來

    氦質譜檢漏儀的工作原理

    1、為什么要檢漏????? 很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力作用下,流進或流出這個空間,如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產不能進行,或者產生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容

    氦質譜檢漏儀的工作原理

    1、為什么要檢漏? ?很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力作用下,流進或流出這個空間,如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產不能進行,或者產生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液

    氦質譜檢漏儀的工作原理

    檢漏儀主要的目的是檢查一個真空腔體各個密封處是否有泄漏、漏氣的地方。在這個密封腔體內充滿氦氣,用質譜檢漏儀在不腔體外,不同部位檢測,如果密封存在問題,則有氦氣泄漏,被質譜儀檢測到。質譜檢漏儀是一種簡易的質譜儀,對分辨率和檢測的質量范圍要求很低,但對靈敏度要求較高。樓上的回答則是質譜儀中的一種磁質譜儀

    氦質譜檢漏儀工作原理與結構

    ? ? 氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。? ? ①單級磁偏轉型氦質譜檢漏儀? ? 現以HZJ—l型儀器為例.介紹單級磁偏轉型氦質譜檢漏儀。? ? 在質譜室內有:由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源;由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器;由

    氦質譜檢漏儀原理

    一、為什么要檢漏泄漏和密封相對應很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進或流出這個空間。如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,PVD,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產不能進行,或者產生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣

    介紹氦質譜檢漏儀的原理

      氦質譜檢漏儀原理: 氦質譜檢漏儀是基于質譜法原理,以氦氣作為檢漏儀器。質譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統和電氣部分組成。質譜法室中燈絲發射的電子在室內來回振蕩,與室內氣體碰撞,氦氣泄漏進入室內,電離成正離子,正離子在加速電場的作用下進入人體磁場,當洛倫茲力效應偏轉時,電弧

    氦質譜檢漏儀氦質譜檢漏方法描述

      氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術,由于檢漏效率高,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組

    ASM181T氦質譜檢漏儀的部件工作原理

    ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?阿爾卡特 作者:劉朝暉 1.ASM181T氦質譜檢漏儀的工作氣路(圖1) 。 2.ASM181T氦質譜檢漏儀工作準備過程( 自動內部校準) ??????? (1) 預抽。合

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