EpiQuest真空互聯分子束外延系統(金屬）共享
儀器名稱：真空互聯-分子束外延系統(金屬）儀器編號：21028618產地：日本生產廠家：EpiQuest Inc型號：RC2100Me出廠日期：購置日期：2021-11-18所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>真空互聯放置地點：微電子學研究所南平房實驗室108號固定電話：010-62784044固定手機：13051135063固定email：zygao@mail.tsinghua.edu.cn聯系人：分類標簽：微納 半導體 薄膜技術指標：◇主腔真空： 1.5×10–10 Torr◇ 源爐數量： 8個◇ 樣品臺最高溫度： 900 °C◇ RHEED最高電壓及電流： 30 KV/1.55 A◇ 冷卻方式：液氮冷屏◇ 原位束流即時監控系統，束流控制穩定度優于1%知名用戶：材料學院宋成教授課題組技術團隊：集成電路學院功能特色......閱讀全文
EpiQuest真空互聯分子束外延系統(金屬）共享
儀器名稱：真空互聯-分子束外延系統(金屬）儀器編號：21028618產地：日本生產廠家：EpiQuest Inc型號：RC2100Me出廠日期：購置日期：2021-11-18所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>真空互聯放置地點：微電子學研究所南平房實驗室108號固定電話：010-62784044固
EpiQuest真空互聯分子束外延系統(半導體）共享應用
儀器名稱：真空互聯-分子束外延系統(半導體）儀器編號：21028773產地：日本生產廠家：EpiQuest Inc型號：RC2100Se出廠日期：購置日期：2021-11-18所屬單位：集成電路學院>微納加工平臺>真空互聯放置地點：微電子學研究所南平房實驗室108號固定電話：010-62784044