LEICAINM100顯微鏡提供工藝芯片最佳自動拍照方案

　　 LEICA INM100自動芯片分析顯微鏡配備其配套的控制器、攝像頭，軟件，PRIOR納米平臺集成了整個Imaging System。

　　 是對深亞微米工藝芯片進行連續性、大面積的微觀圖片信息采集的最佳工具。

　　 使用方法：

　　 ① 將試樣芯片置于直線刻度自動納米平臺上，試樣芯片與電動平臺之間的位置關系是相對固定的

　　② 設定顯微鏡的放大倍數，一邊通過目鏡觀察，一邊調節電動臺控制器的操縱桿和轉鈕，使顯微鏡的物鏡對準試樣的某一微觀區域（一般是試樣的最邊緣）

　　③ 試樣芯片通過顯微鏡所成的像由CCD采集

　　④ CCD控制器將CCD所采集到的圖片信息進行數/模之間的轉換

　　⑤ CCD控制器處理過的信號在計算機的顯示器上顯示出來，在圖像達到滿意的效果之后，操縱拍攝控制軟件，便將該圖像保存在計算機中

　　⑥ 第一張圖像保存后，由于電動臺控制器具有設定的程序，控制器會控制電動平臺自動移動至下一相鄰的微觀區域（逐行或逐列，兩微觀區域共一邊界），從而使計算機的顯示器上呈現第二個微觀區域的圖像信息。由于處理過的芯片的表面并不平坦，且放大倍數較高，可能造成顯示器上圖像并不清晰，此時可以通過調節電動臺控制器來調節顯微鏡的焦距，直至獲取該微觀區域清晰的圖像。拍攝第三個微觀區域…第四個…整個芯片拍攝完畢。

　　 最新版本的自動芯片拍照軟件可以同時處理上萬張照片的拍攝，自動拼接合成功能，并可以將上萬張照片的合成照片顯示在計算機屏幕上，解決了海量照片無法顯示的難題。為全面深入地分析芯片提供了最佳的工具。

　　 上述使用方法轉載自上海芯索芯片分析技術有限公司得網頁。

　　 關于芯索：

　　集成電路是國家重點扶持的高科技產業上海集成電路和設計業在全國居于前列。上海市科學技術委員會研發公共服務平臺與上海圣景科技發展有限公司共同投資建立了“芯片分析技術服務”子平臺，以進一步促進集成電路產業的科技創新。

　　 芯片分析技術服務平臺依據“共同投入、企業運作、公共服務、自我發展”的原則，以獨立的法人實體，按照企業方式運作。平臺的收入、除了設備維護、平臺運營、技術授權費等必要的支出，全部用于自身積累。平臺在政府扶持下建立起來以后，通過自我積累來實現滾動發展和逐步壯大，為集成電路產業提供更全面的服務。

　　平臺的核心技術一方面來自圣景公司的技術轉移，另一方面在設備供應商的支持下，和大學、研究所合作對設備進行定制，研發了相關控制系統和軟件，用以滿足國內芯片分析的高端技術服務需求，促進行業技術的進步和IC企業的競爭力。

　　芯索公司和國際知名設備廠商合作，將新的設備介紹到國內并為其開發設備應用指南和適應于中國客戶要求的解決方案，一方面幫助國內客戶解決研發中遇到問題，另一方面幫助設備廠商的設備推廣與銷售。

　　設備到位并完成技術升級和改造后，平臺將在芯片分析領域達到國際領先水平。平臺以優惠的價格提供國內集成電路產業和國防科技迫切需要的技術支撐，實現中小型芯片設計企業的跨越式發展、促進國防現代現代化建設。未來，平臺將通過產、學、研結合，不斷提升技術，滿足集成電路產業進步的需要，實現對客戶“分析無極限”的承諾！

　　基于公共服務的基本要求，在芯索公司進行的所有的服務數據均在平臺內進行共享，客戶如果有特別的保密要求，芯索公司愿意進行技術轉移服務，幫助其建立或提升內部實驗室的技術水平。

　　平臺包括化學實驗室、綜合實驗室和顯微攝像室，采用10,000級凈化設計，專門針對芯片分析應用，配備了Decapsulate，Polish，RIEUV-OM，FE-SEM，X-Ray，AFM等先進設備，并對設備進行了整合。