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  • 掃描探針隔振措施

    隔振措施任何一個掃描探針顯微鏡系統都可以看作為一個具有一個特征共振頻率ωk的振子系統。當外界的機械振動頻率與ωk一致時,會激發掃描探針顯微鏡自身的共振,導致探針樣品之間的相對振動。這種振動對掃描圖像來說是一種周期性噪聲。為了減小外部振動對掃描探針顯微鏡的影響,掃描探針顯微鏡的機械部件通常由剛性很好的金屬制成以使其共振頻率很高(通常高于100kHz)。但是掃描器的共振頻率相對來說要低的多,尤其是掃描范圍越大的掃描器其共振頻率越低。因此在現在的SPM系統中,通常要在掃描范圍與共振頻率間做一個權衡。隔振系統可以分為被動式隔振和主動式隔振兩大類。被動式隔振系統的基本原理如下。外界振動頻率與系統本身的共振頻率相差越大則系統受外界振動的影響越小。因此,被動式隔振系統的共振頻率做的盡可能低以此避開外界的高頻振動干擾。因此,如果掃描探針顯微鏡的掃描頭放到一個被動式隔振平臺上,只有與被動式隔振平臺共振頻率(5Hz到10Hz)接近的外界振動干擾能夠......閱讀全文

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