如圖1所示,細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象,會帶動杠桿和齒輪旋轉,使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應的氣壓值。 這種規的測量范圍一般在100Pa至1atm。......閱讀全文
如圖1所示,細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現象,會帶動杠桿和齒輪旋轉,使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應的氣壓值。 這種規的測量范圍一般在100Pa至1atm。
如圖所示,在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形,使得金屬膜片和電極之間的電容變化,通過測量電容的變化量,即可知道金屬膜片上氣壓的變化。 這種規的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。 這種規的優點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環境
如圖所示,冷陰極電離規也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量,但與熱陰極電離規不同的是,它是利用磁控放電電離氣體分子產生離子。 這種規的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。 與熱陰極電離規同樣的原因,這種規在使用時需要在不同氣體下標定。
如圖所示,熱陰極電離規中,由熱陰極即燈絲發射電子,電離真空中的氣體分子,產生離子,由收集極收集產生的離子,形成離子電流,通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,進而得到氣壓大小。 這種規的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。 經改進后的熱陰極電離規,Bayard-Al
電離真空計是基于在一定條件下,待測氣體的壓力與氣體電離產生的離子流呈正比關系的原理制作的真空測量儀器。 由筒狀收集極,柵網和位于柵網中心的燈絲構成,筒狀收集極在柵網外面。熱陰極發射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
低溫的氣體分子碰撞高溫固體時,會從固體奪取熱量。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導真空計。熱傳導真空計主要被應用于中低真空領域。代表性的熱傳導真空計包括Pirani真空計和熱電偶真空計。 世界著名真空企業,在皮拉尼真空計的生產工藝上采用白金絲,代替傳統燈絲。大大提高了產品穩
真空計(Vacuum Gauge),又名真空表,是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業生產中廣泛使用。 按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制,可將主要的真空計分為三大類,分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真
麥氏真空表又名麥克勞真空計(也叫轉動式壓縮真空計),是根據理想等溫壓縮的波義耳--馬略特定律設計而成。由于它可以通過本身的參數,直接算得壓強值,所以它除了進行壓強測量外,還可以作為絕對真空計用來校驗一些相對真空計(如:座式壓縮真空計就是其中的一種),故被廣泛用于工業、國防、科研、醫藥、制冷等真空
如圖所示,熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。 測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。 與皮拉尼電阻規一樣,這種規也需要在不同的使用氣體下標定。
蓋德電離真空計英文名為Gaede''s ionization gauge。 電離真空計的離子流與壓強關系為線性關系,規管測量上限由規管非線性不超過20%所對應的壓強確定,測量下限由規管本底壓強示值的10倍確定。 電離計總的測量范圍為10-8~102Pa,一般說來,每一種結構的規