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熱絲極離子真空計（英文：Hot filament ionization gauge），有時又稱熱絲極真空計或熱陰極真空計，是一種非常廣泛用于壓力范圍在至托的測量裝置。構造和三極管類似，但是絲極作為負極。 熱絲極離子真空計的種類 巴雅-愛泊特量測計（使用密封的管子） Nude gauge（使用真空腔以達到完整的密封）......閱讀全文
熱絲極離子真空計（英文：Hot filament ionization gauge），有時又稱熱絲極真空計或熱陰極真空計，是一種非常廣泛用于壓力范圍在至托的測量裝置。構造和三極管類似，但是絲極作為負極。 熱絲極離子真空計的種類 巴雅-愛泊特量測計（使用密封的管子） Nude gauge（使
利用加熱的絲極產生穩定的電子流（通常為10mA），這些電子會被加了正電壓（約+150V）的螺旋型的柵極給吸引。在電子從絲極往柵極的過程中，電子會撞擊真空計內的氣體分子，導致部分的氣體分子被離子化。這些氣體離子會被位在真空計中加負電壓（通常為-30V）的集極給吸引。離子電流和氣壓的關系為1mA/P
熱絲極離子真空計的組成和三極管一樣有集極（為一根金屬線或平板）、絲極（燈絲）和柵極（由螺旋型的金屬線組成）。其絲極作為陰極。集極所量到的電流通常在pA等級。若以集極接在地電位，則絲極電壓通常在30V，柵極電壓通常在180~210V。除非要用電子轟擊某一部分構造，像是加熱柵極就需要用到將近565V
電子從燈絲被發射到最后進入柵極前，電子在柵極周圍前后運動數次。在移動的這段期間里，有一些電子和氣體分子發生碰撞而產生一對電子(電子游離)和離子。這些離子的數目正比于氣體分子密度乘上絲極射出的電子電流及離子跑到集極形成的離子電流。利用氣體分子密度正比于壓力的關系，就可借由離子電流大小去估算壓力。
利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。 熱電偶接在白金或鎢的細線上。這段細線通過電流後會發熱。發出的熱量通過周圍氣體分子的熱傳導,或細線本身的固體熱傳導,或熱輻射放出。利用氣體分子承擔的熱傳導量與壓力成正比的特點是此真空計的原理。 如
電離真空計是基于在一定條件下，待測氣體的壓力與氣體電離產生的離子流呈正比關系的原理制作的真空測量儀器。 由筒狀收集極，柵網和位于柵網中心的燈絲構成，筒狀收集極在柵網外面。熱陰極發射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
低溫的氣體分子碰撞高溫固體時,會從固體奪取熱量。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導真空計。熱傳導真空計主要被應用于中低真空領域。代表性的熱傳導真空計包括Pirani真空計和熱電偶真空計。 世界著名真空企業，在皮拉尼真空計的生產工藝上采用白金絲，代替傳統燈絲。大大提高了產品穩
麥氏真空表又名麥克勞真空計（也叫轉動式壓縮真空計），是根據理想等溫壓縮的波義耳--馬略特定律設計而成。由于它可以通過本身的參數，直接算得壓強值，所以它除了進行壓強測量外，還可以作為絕對真空計用來校驗一些相對真空計（如：座式壓縮真空計就是其中的一種），故被廣泛用于工業、國防、科研、醫藥、制冷等真空
利用氣體分子的熱傳導現象，可能測量的壓力范圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計測得細線溫度同時,也受到細線本身的固體熱傳導和熱輻射放熱的影響。因此精度不高。但是電路簡單，價格低廉。 另外此真空計在大氣壓狀態下也不會燒損。而且測得的壓力值通過電信號被取出，因此在自動控制方面容易控制。
蓋德電離真空計英文名為Gaede''s ionization gauge。 電離真空計的離子流與壓強關系為線性關系，規管測量上限由規管非線性不超過20%所對應的壓強確定，測量下限由規管本底壓強示值的10倍確定。 電離計總的測量范圍為10-8～102Pa，一般說來，每一種結構的規