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  • 高斯電子束掃描系統矢量掃描方式

    曝光時,先將單元圖形分割成場,工件臺停止時電子束在掃描場內逐個對單元圖形進行掃描,并以矢量方式從一個單元圖形移到另一個單元圖形;完成一個掃描場描繪后,移動工件臺再進行第二個場的描繪,直到完成全部表面圖形的描繪。 由于只對需曝光的圖形進行掃描,沒有圖形部分快速移動,故掃描速度較高。同時為了提高速度和便于場畸變修正,有部分系統將掃描場分成若干子場,電子束偏轉分成兩部分:先由16位數模轉換器(DAC)將電子束偏轉到某子場邊緣,再由高速12位DAC 在子場內偏轉電子束掃描曝光。系統的特點是采用高精度激光控制臺面,分辨率可達1nm以下,但生產率遠低于光學曝光系統,并隨著圖形密度增加而顯著降低,因此難以進入大規模集成電路(LSI)生產線。......閱讀全文

    高斯電子束掃描系統矢量掃描方式

      曝光時,先將單元圖形分割成場,工件臺停止時電子束在掃描場內逐個對單元圖形進行掃描,并以矢量方式從一個單元圖形移到另一個單元圖形;完成一個掃描場描繪后,移動工件臺再進行第二個場的描繪,直到完成全部表面圖形的描繪。  由于只對需曝光的圖形進行掃描,沒有圖形部分快速移動,故掃描速度較高。同時為了提高速

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    掃描電子顯微鏡是利用聚焦很窄的高能電子束來掃描樣品

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    DHISTECH玻片掃描系統Pannoramic-SCAN共享應用

    儀器名稱:3DHISTECH玻片掃描系統Pannoramic SCAN儀器編號:22009068產地:匈牙利生產廠家:3DHISTECH型號:Pannoramic Scan出廠日期:購置日期:2022-06-09所屬單位:醫研院>生物醫學測試中心>細胞生物學平臺>細胞平臺電鏡機組放置地點:醫學科學樓

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    單掃描極譜法的電位改變的方式

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