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  • GaN基半導體異質結構中的應力相關效應

    GaN基半導體作為光電子材料領域極為重要的材料,其異質結構在器件開發領域得到十分廣泛的應用,目前,影響其未來發展的有幾大關鍵性難題,本質上都與應力場有關,深受大家關注且亟待解決。本論文通過實驗研究和計算模擬,全面深入地考察了GaN基半導體異質結構中應力場的相關效應,分析其復雜性質、闡明其物理機制,進而討論這些效應對GaN基半導體電學和光學性質的作用。在基礎研究手段上,我們利用金屬有機物化學汽相外延技術制備GaN基異質結構,如側向外延GaN和AlGaN/GaN系統的異質結構;采用包括電子顯微鏡、俄歇電子能譜、陰極熒光光譜等技術,表征異質結構的各項化學、物理性質。首先提出了電子信息的思想和“俄歇譜廣義位移”概念,結合以密度泛函理論為基礎的第一性原理計算方法,重點開發了微納米區域的應力場、電學量測量技術,對微觀表征技術的發展起重要的推動作用。基于上述手段,我們針對以下幾方面關鍵物理問題進行研究并取得重要結果:在GaN中應力場和發光性質......閱讀全文

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